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一文读懂吸气剂复合型离子泵的性能特点

更新时间:2023-04-09      点击次数:326
  吸气剂复合型离子泵是一种高效的气体抽取技术,下面就给大家详细介绍一下它的性能特点,希望能够帮助到大家!
 
  吸气剂复合型离子泵的性能特点如下
 
  1、高抽速和低压力:采用电离泵和吸气剂共同作用,可实现高抽速和低压力的抽取。这种离子泵的抽速通常在100~10,000L/s之间,而其抽取压力通常在10^-9~10^-11Torr之间。
 
  2、高真空下也能工作:适用于高真空条件下的气体抽取,可以将真空度提高到非常低的水平。这使得它在许多应用中都是重要的。例如,在半导体制造中,需要高真空环境来避免污染和减少杂质。
 
  3、可以处理大量气体种类:可以处理各种类型的气体,包括惰性气体、反应性气体和蒸汽。这种泵具有广泛的应用领域,例如在化学制造中可用于处理危险气体。
 
  4、长寿命:由于其内部没有运动的机械部件,因此其寿命比其他类型的泵长。它们需要很少的维护和保养,可以在多年甚至几十年的时间内持续运行。
 
  5、清洁和安全:它是一种相对干净、不产生粉尘和污垢的抽取技术。此外,它也是非常安全的,因为电离器内只有低电压和低电流。
 
  总之,吸气剂复合型离子泵是一种高效、低压力、长寿命、广泛应用、清洁和安全的气体抽取技术。由于其出色的性能,它在许多领域都被广泛使用,例如在半导体制造、化学制造、材料研究和天文学中等。
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